一、干式真空泵行业概况
真空泵是获得、改善和维持真空的必要装置，而干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，特指泵的抽气流道（如泵腔）中不使用任何油类和密封液体并可直排大气的泵。干式真空泵具有清洁、安全、振动小、噪声低、性能稳定等特点，无需像传统油封式机械泵一样使用油或液体进行密封，不会在泵腔中逆流或扩散，避免油类或腐蚀性蒸汽对生产造成的负面影响和安全隐患，能够满足半导体和泛半导体领域对洁净环境的较高要求。根据结构和工作原理的不同，干式真空泵主要分为以下几类：
二、干式真空泵行业政策
干式真空泵产品主要面向集成电路、光伏等半导体和泛半导体产业，集成电路与光伏产业均是对我国实现高质量发展、高水平科技自立自强和“双碳”目标，以及保障重点产业链自主可控的关键领域。因此，近年来国家从产业规划、财政税收、金融、人才技术等各方面给予上述产业极为有力的政策支持，为干式真空泵行业的发展营造了良好的政策环境。
三、干式真空泵行业产业链
1、产业链结构图
干式真空泵行业产业链上游包括基础原材料、精密机械零部件、电气控制部件与技术研发与设计，其中基础原材料包括铝合金、不锈钢、钛合金、工程塑料等，精密机械零部件包括螺杆转子、涡旋盘、叶轮、缸体、精密轴承等，电气控制部件包括变频器、伺服电机、PLC控制器等。产业链中游为干式真空泵的研发、生产与集成环节。产业链下游可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个国民经济支柱产业。
2、中国半导体设备市场规模
受益于我国庞大的集成电路市场规模，以及在该领域的大量投资和产业政策支持，近年来我国晶圆厂建设及产能扩张加快，自2020年以来我国已连续四年成为全球最大的半导体设备市场，占比达30%。据统计，2024年我国半导体设备市场规模达495.5亿美元，2020-2024年均复合增长率达27.55%。
相关报告：华经产业研究院发布的《2026-2032年中国干式真空泵行业发展潜力预测及投资机会洞察报告》
四、干式真空泵行业发展现状
1、全球半导体领域干式真空泵需求及规模
干式真空泵是集成电路各制程中实现真空环境所必需的零部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用干式真空泵。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展态势。据统计，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模为125.74亿元。
2、中国半导体领域干式真空泵需求及规模
由于我国是全球集成电路产业最主要的市场之一，以及我国政府大力支持相关领域发展，近年来我国集成电路制造能力迅速提升。据统计，2024年我国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模为52.11亿元。
五、干式真空泵行业竞争格局
干式真空泵对性能的可靠性、稳定性要求极高，需要在大量的实际工艺环境中不断改进提升。全球领先的供应商如英国Edwards、日本Ebara均成立超过百年，在真空技术领域拥有数十年的研发、制造经验，产品伴随着集成电路产业的发展不断更新换代，积累了大量产品设计和技术工艺。我国对干式真空泵的研制起步较晚，产业基础相对薄弱，虽然近年来国产供应商在技术水平、产品性能、规格型号丰富程度、产能等方面均实现了显著提升，但与国际领先厂商相比仍存在一定差距。
六、干式真空泵行业趋势
集成电路产业是我国国民经济的基础性、战略性和关键性产业，是信息技术的基础和核心，而集成电路制造设备是整个集成电路产业的重要支撑。虽然近年来我国集成电路产业的消费和制造规模均实现了快速增长，但受制于产业基础和国际贸易摩擦，我国半导体设备、关键零部件仍大量依赖进口，对我国半导体产业的自主可持续良性发展造成不利影响。
近年来，国家通过“02”重大科技专项、国家集成电路产业投资基金等多种方式，引导和鼓励国内集成电路设备及零部件研制企业发展，不断完善和优化产业链。另外，美国等国家对关键设备、零部件的出口管制，使国家和产业界充分认识到产业链、供应链自主可控的突出重要性，并积极推动国产设备、零部件在晶圆厂的导入和批量应用，加快产业链的自主化进程，扩大国产设备、零部件的市场空间。
华经产业研究院对中国干式真空泵行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析，对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析，最大限度地降低企业投资风险与经营成本，提高企业竞争力；并运用多种数据分析技术，对行业发展趋势进行预测，以便企业能及时抢占市场先机；更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2026-2032年中国干式真空泵行业发展潜力预测及投资机会洞察报告》。
