中国光掩模玻璃基板行业需求现状分析,产品尺寸趋向大型化「图」

一、光掩模玻璃基板行业概况

光学掩模板,又称光掩模板或光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版。

光掩模基版(基板)是制作微细光掩模图形的感光性空白板,比如光掩模铬版基板,是光掩模板基体材料上镀铬所得到的感光性空白板,再通过光刻制版等工序就可以获得所需光掩模板。光掩膜板分类如下:

常用光掩膜板分类

常用光掩膜板分类

资料来源:公开资料整理

光掩模玻璃基板根据玻璃组分,分为合成石英掩模基板、硼硅玻璃掩模基板和苏打玻璃(钠钙玻璃)掩模基板等。成石英掩模基板,是指合成石英锭,经热改型、冷加工等加工后制作石英空白光掩模基板,也称作石英白板。硼硅玻璃光掩模基板,是指在硼硅玻璃原片基础上,经过加工后制作硼硅玻璃空白掩模基板。苏打玻璃基板,是指在钠钙玻璃原片基础上,经过加工后制作钠钙玻璃空白掩模基板。

三种光掩模用玻璃基板的比较

三种光掩模用玻璃基板的比较

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二、中国光掩模玻璃基板行业市场现状分析

我国的光掩模制作始于60年代中期,比国外晚5~6年。近年来我国光掩模玻璃基板需求增长稳定,据统计,2019年我国光掩模玻璃基板需求量为9.98万平方米,同比增长10.9%,占全球总需求的36.8%。

2015-2019年中国光掩模玻璃基板需求量及增速

2015-2019年中国光掩模玻璃基板需求量及增速

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其中集成电路(IC)领域需求量4.678万平方米,同比增长16.42%,占总需求量的46.87%;平面显示(FPD)领域需求量4.767万平方米,同比增长8.33%,占总需求量的47.77%;其他领域需求量0.535万平方米,同比减少8.11%,占总需求量的5.36%。

2015-2019年我国按应用领域光掩模玻璃基板需求(万平方米)

2015-2019年我国按应用领域光掩模玻璃基板需求(万平方米)

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2019年中国各领域光掩模玻璃基板需求分布(单位:%)

2019年中国各领域光掩模玻璃基板需求分布(单位:%)

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从各基板产品需求量来看,其中光掩模石英玻璃基板需求4.221万平方米,同比增长23.86%,占总需求量的42.29%;光掩模苏打玻璃基板需求量4.991万平方米,同比增长5.86%,占总需求量的50.01%;其他光掩模玻璃基板需求量0.767万平方米,同比减少12.58%,占总需求量的7.69%。

2015-2019年我国按基板品种光掩模玻璃基板需求(万平方米)

2015-2019年我国按基板品种光掩模玻璃基板需求(万平方米)

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相关报告:华经产业研究院发布的《2020-2025年中国玻璃基板行业市场深度分析及发展前景预测报告

三、光掩模玻璃基板相关标准

目前我国与光掩模玻璃基板有关标准有15项,其中国家标准8项,国家军用标准1项,行业标准6项:

光掩模玻璃基板相关标准

光掩模玻璃基板相关标准

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四、中国光掩模玻璃基板行业发展趋势

1、国家主要法律法规政策引导和推动行业发展

为提升我国平板显示和半导体芯片等行业配套材料的国产化率,改善产业发展环境,促进行业持续、健康发展,国家相关部门出台了一系列法律法规及政策,为光掩模玻璃基板行业持续稳定发展提供了有力保障。

2、光掩模玻璃基板产品尺寸趋向大型化

(1)大直径是硅片未来发展方向

随着半导体技术的发展和市场需求的变化,大尺寸硅片占比将逐渐提升。在圆形硅片上制造矩形的硅片会使硅片边缘处的一些区域无法被利用,从而带来部分浪费,随着晶圆尺寸的增大,损失比就会减小。目前8英寸(1英寸=25.4mm)硅片主要用于生产功率半导体和微控制器,逻辑芯片和存储芯片则需要12英寸硅片。

(2)显示面板的大屏化发展决定了光掩模玻璃基板产品尺寸趋向大型化

显示屏世代线代数是按照生产显示屏使用的基板尺寸来界定的,基板尺寸越大,其世代线越高,而越高的世代线经切割后所能产生的屏幕尺寸就越大。粗略区分,G1~G4代线主要针对笔记本电脑,G4~G5代主要针对电脑显示屏幕,G6代线以上的生产线主要为电视屏幕所用。而随着基板的大型化,为了提高生产效率需要更大的曝光面积,光掩模玻璃基板的尺寸也随之增加。

3、应加大力度消除发展短板

(1)我国光掩模玻璃基板产业创新能力有待提高

光掩模板主要由玻璃基板与遮光膜两部分组成,其中玻璃基板成本占整体材料成本的90%。目前被用来制作光掩模板基本的材料包括合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃等,其中合成石英最为化学稳定,具有高硬度、低膨胀系数和透光性强等优势,被广泛运用到具有较高精度要求的产品生产中。考虑到成本和纯度要求,目前厂商使用的主要材料为合成石英基板。我国仅有湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司以及中国建筑材料科学研究总院等少数几家企业具有生产光掩模石英基板初级产品能力。

(2)光掩模玻璃基板产业链短板明显

据统计,2018年我国TFTLCD及AMOLED光掩模板的国产化率为9.70%,其中AMOLED/LTPS等高精度光掩模板的国产化率仅为2.50%。对于光掩模石英玻璃基板来说,由于产业链技术问题,其国产化能力几乎为零。

目前国内光掩模玻璃基板产业链没有打通,光掩模石英玻璃基板产品仍需在日、韩精加工(精磨、镀膜)后,才能返回国内光掩模板厂商进行光刻,虽然一些公司已与日、韩以及国内掩模版厂商建立了良好的合作关系,但仍然在一定程度上制约光掩模玻璃基板的发展。

总之,随着半导体集成电路(IC)、显示面板(FPD)和PCB等产业重心向我国倾斜和转移,必将带动我国光掩模板行业等迅速发展,作为光掩模板上游的光掩模玻璃基板产业必将受到强有力的拉动,尤其是光掩模石英玻璃基板的发展将进一步加快。

华经产业研究院对中国光掩模玻璃基板行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析,对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析,最大限度地降低企业投资风险与经营成本,提高企业竞争力;并运用多种数据分析技术,对行业发展趋势进行预测,以便企业能及时抢占市场先机;更多详细内容,请关注华经产业研究院出版的《2021-2026年中国显示玻璃基板行业投资分析及发展战略研究咨询报告》。

本文采编:CY343

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