设备前端模块

2025年中国设备前端模块（EFEM）行业发展现状及趋势（附产业链、下游分析、市场规模及竞争格局）「图」

EFEM作为确保晶圆在Class1级洁净环境中完成精准传输的关键部件，其性能直接影响设备稼动率和最终良率。特别是在高密度制程和多次进出机台的工艺架构下，EFEM的战略价值进一步凸显。2023年中国设备前端模块（EFEM）行业市场规模约为2.82亿美元。