一、无掩膜光刻机行业概况
1、定义及分类
光刻机主要分为无掩膜光刻机和有掩膜光刻机两大类。无掩膜光刻机又称直写光刻机,是指无需实体光掩膜,通过数字化控制将图形直接写入基板的光刻/直写设备。适用于集成电路原型设计、小批量定制及掩模版制作,但生产效率较低,按辐射源划分,无掩膜光刻可分为基于光学的直写技术与基于带电粒子的直写技术,前者包括激光直写(LDI)和动态掩膜并行投影直写(SLM/DMD),后者包括电子束直写(EBL)和离子束直写。有掩膜光刻机则广泛应用于集成电路的大规模制造,其技术路线包括接触式、接近式和投影式光刻机。
2、发展历程
无掩膜光刻技术自电子束直写诞生起,经历了从科研工具到工业量产装备的演进,当前在AI与先进封装拉动下进入加速期。
二、无掩膜光刻机行业相关政策一览
近年来,我国政府相关部门陆续发布了一系列政策,如《鼓励外商投资产业目录(2025年版)》、《关于制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》、《电子信息制造业2025-2026年稳增长行动方案》等,支持和鼓励无掩膜光刻机行业发展。
相关报告:华经产业研究院发布的《2026-2032年中国无掩膜光刻机行业市场深度分析及投资机会评估报告》
三、无掩膜光刻机行业现状
1、全球
2025年全球无掩膜光刻机市场规模达到107亿元。全球无掩膜光刻机市场规模2020‑2025年呈现持续上行态势,行业整体处于稳步扩张阶段。下游领域需求持续释放,带动无掩膜光刻设备需求持续增长,无掩膜光刻无需制备掩模版的优势,适配小批量、定制化芯片研发与特色工艺生产,尤其在研发试产、异形器件制造场景优势突出。
2、中国
相较于全球市场,中国无掩膜光刻机市场预计保持更高增速。这不仅得益于国内PCB与显示面板领域的高产能占比,高阶PCB、IC载板以及先进封装产线的升级改造,还将持续创造设备新增与存量更新空间。伴随本土设备厂商在PCB直接成像、载板曝光、部分封装图形化环节加速落地客户验证,中国无掩膜光刻机在全球市场中的占比有望继续走高。
四、无掩膜光刻机行业产业链
1、产业链结构
无掩膜光刻机产业链上游关键部件包括光学镜头模组、DMD芯片、紫外激光光源、精密运动平台、光刻胶与电子特气等;中游为无掩膜光刻机设备厂商,负责整机研发、集成、调试与设备销售,是产业链核心环节;下游覆盖IC载板、PCB、先进封装、晶圆制造、掩膜版写版等领域。
2、下游
随着我国电子信息产业蓬勃发展,我国PCB产值快速增长,产值增速领跑全球。根据Prismark数据,2024年中国大陆PCB产值412.13亿美元,占全球市场份额的50%以上。
五、无掩膜光刻机行业竞争格局
无掩膜光刻机行业呈现“海外巨头领跑、国产梯队分层突围”的格局。海外厂商凭借全技术路线和高端场景的先发优势占据主导,国内厂商则依托庞大的本土市场,在PCB等成熟领域实现国产替代,并逐步向高端载板、先进封装等增量市场渗透。
六、无掩膜光刻机行业趋势
1、技术迭代提速,核心性能稳步攻坚
技术迭代层面,国内厂商重点攻坚分辨率、套刻精度与吞吐量的平衡难题,DMD光学直写路线商业化推进最快,多光束技术持续研发。AI算法逐步融入设备,用于曝光路径优化、剂量补偿与对准纠偏,以此改善加工良率与效率。现阶段国产设备在高端精细线路、长时间量产稳定性上仍有差距,核心零部件国产替代仍存在提升空间。
2、本土竞争升级,差异化格局凸显
竞争格局上,国内厂商份额持续抬升,竞争焦点由设备能否落地,转向工艺适配能力、产线验证水平与售后服务体系。头部企业差异化布局,部分深耕PCB与封装市场,部分聚焦科研纳米直写赛道。海外厂商仍把持高端市场,国内企业通过联合下游客户共建实验室,加速工艺磨合,缩短设备导入周期。
华经产业研究院对中国无掩膜光刻机行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析,对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析,最大限度地降低企业投资风险与经营成本,提高企业竞争力;并运用多种数据分析技术,对行业发展趋势进行预测,以便企业能及时抢占市场先机;更多详细内容,请关注华经产业研究院出版的《2026-2032年中国无掩膜光刻机行业市场深度分析及投资机会评估报告》。


