一、离子注入机行业概况
离子注入机就是在离子源部分将杂质分子进行电离，从而产生大量的各种各样的离子，通过萃取极的高压，将所有的离子吸取出来进而获得所需的注入能量，然后利用束线部分的磁场，四极棱镜，孔径筛选器，来筛选出所需能量的离子及均匀性，最后利用靶室的各部件的相对运动对硅片的均匀注入。
离子注入机行业产业链示意图
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集成电路离子注入机分类：（1）按能量高低划分：分为低能离子注入机、中能离子注入机、高能离子注入机和兆伏离子注入机；（2）按束流大小划分：分为小束流离子注入机、中束流离子注入机、大束流离子注入机。
集成电路离子注入机分类
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二、中国离子注入机生产现状
离子注入机按下游应用领域不同，可以分为集成电路离子注入机、光伏离子注入机和AMOLED离子注入机。据统计，截至2020年我国离子注入机总产量为26台，同比2019年增加了6台。
2016-2020年我国离子注入机产量及增速
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相关报告：华经产业研究院发布的《2021-2026年中国离子注入机行业市场供需格局及行业前景展望报告》
三、中国离子注入机进出口现状
近年来，随着国内企业生产商研发能力的不断提升，我国光伏领域的离子注入机基本实现进口替代，目前我国离子注入机进口类型主要为制造半导体器件或集成电路用的离子注入机（海关编码：84862050），据统计，2020年我国离子注入机进口量达到230台，同比增加60台，出口量为130台，同比增加56台。截至2021年1-4月我国离子注入机进口量为103台，比2020年同期增加了33台，出口量为30台，比2020年同期减少5台。
2015-2021年4月我国离子注入机进出口数量统计
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进出口金额方面，据统计，截至2021年1-4月我国离子注入机进口金额为2.273亿美元，同比增长22.48%；出口额为0.052亿美元，同比增长376.58%。
2015-2021年4月我国离子注入机进出口金额统计
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2020年我国从美国进口离子注入机179台，进口金额为5.14亿美元，占进口总额比达到83.55%，从日本进口离子注入机31台，进口金额为0.66亿美元，占比进口总额比为10.69%，从新加坡进口离子注入机14台，进口金额为0.22亿美元，占比进口总额比为3.56%。
2020年我国离子注入机进口来源地进口额分布（单位：%）
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2020年我国离子注入机出口到美国101台，出口金额为266.6万美元，占比65.24%；出口到大洋洲其他国家（地区）21台，出口金额为59.8万美元，占比14.62%；出口到台湾省4台，出口金额为48万美元，占比11.75%。
2020年我国离子注入机出口目的地出口额分布（单位：%）
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从我国各省市离子注入机进口情况来看，2020年江苏省进口离子注入机51台，进口金额为1.5亿美元，位居全国第一。排第二的是上海市，2020年离子注入机进口量为49台，进口额为1.2亿美元；其次是安徽省，离子注入机进口量为20台，进口额为0.6亿美元。
2020年我国各省市离子注入机进口情况
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从我国各省市离子注入机出口情况来看，2020年我国共3个地区出口离子注入机，分别为上海、江苏与浙江，出口量分别为104台、25台与1台，出口金额分别为274.61万美元、94.06万美元与40万美元。
2020年我国各省市离子注入机出口情况
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四、离子注入机行业竞争格局
目前全球生产离子注入机的企业仅9家，包括美国的应用材料、Axcelis、Intevac，日本的日新离子机、日本真空、住友重工，以及中国的凯世通、北京中科信、AIBT（台湾）。
离子注入机生产商分布
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五、集成电路装备产业发展趋势
集成电路产业技术在“摩尔定律”的推动下已快速发展了几十年。然而，相比2013年和如今的手机旗舰芯片，元器件数目并没有实现翻一番，实际上增长了50%左右。可见，“摩尔定律”正在逐渐放缓，半导体技术发展似乎也走到了一个十字路口，晶体管小型化已接近其物理极限水平，在这种趋势的推动下，必将激发新一轮的产业技术革命，颠覆性技术也将加速出现，行业呈现出从“摩尔定律”驱动向“超越摩尔”发展的趋势。
在这种背景下，我国集成电路产业应及时把握机遇，加快推进技术创新进程，通过加强与多种领域产业和学术界的合作，开放集成电路产业合作及合作方式，抓紧赶超国际技术水平，争取在“超越摩尔”的浪潮到来之际，抢占一定的先机。
华经产业研究院通过对中国离子注入机行业海量数据的搜集、整理、加工，全面剖析行业总体市场容量、竞争格局、市场供需现状及行业重点企业的产销运营分析，并根据行业发展轨迹及影响因素，对行业未来的发展趋势进行预测。帮助企业了解行业当前发展动向，把握市场机会，做出正确投资决策。更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2020-2025年中国离子注入机行业市场前景预测及投资方向研究报告》。
