CVD设备

2021年全球和中国CVD设备发展现状分析，国产化率仍有较大提升空间「图」

就国内CVD市场现状而言，国内目前薄膜沉积设备整体市场规模表现为快速增长趋势， CVD设备作为主要组成技术受制于国际企业，2021年市场规模达33亿美元左右，随着国际局势持续趋紧，半导体设备整体国产化趋势加速，CVD有望受益规模引来较快增长。

2020年全球CVD设备行业市场发展现状及竞争格局分析，高端装备制造前景大好，智能制造拉动需求激增「图」

据统计，2020年PECVD是薄膜设备中占比最高的设备类型，占整体薄膜沉积设备市场的33%；ALD设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%；SACVD是新兴的设备类型，属于其他薄膜沉积设备类目下的产品，占比较小。在整个薄膜沉积设备市场，属于PVD的溅射PVD和电镀ECD合计占有整体市场的23%。