半导体工艺排气系统

2026年中国半导体工艺排气系统行业发展现状及趋势分析：外资及中国台湾供应商占据主导地位「图」

半导体工艺排气系统将各工艺机台代谢产生的废气持续抽吸、汇流，并在排气风机提供的负压驱动下，输送至中央废气处理器集中净化、达标排放，维系整座工厂安全洁净的“新陈代谢”。据统计，截至2025年全球半导体工艺排气系统行业市场空间为16.6亿美元，预计2026年增长至20亿美元。